在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中，光學(xué)干涉儀是一種非常重要的工具，它可以通過(guò)測(cè)量光波的干涉現(xiàn)象來(lái)獲取物體的微小變化。然而，傳統(tǒng)的光學(xué)干涉儀通常需要內(nèi)置光學(xué)鏡，這使得其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高昂，且難以實(shí)現(xiàn)小型化。為了解決這個(gè)問(wèn)題，一種Renishaw雷尼紹無(wú)內(nèi)置光學(xué)鏡干涉儀逐漸嶄露頭角，它的信號(hào)處理和數(shù)據(jù)分析方法也得到了廣泛關(guān)注。
一、原理
Renishaw雷尼紹無(wú)內(nèi)置光學(xué)鏡干涉儀的基本原理是利用光的干涉現(xiàn)象進(jìn)行測(cè)量。它通過(guò)將待測(cè)物體反射的光與參考光進(jìn)行干涉，產(chǎn)生干涉條紋。由于待測(cè)物體引起的微小變化會(huì)導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，因此可以通過(guò)測(cè)量干涉條紋的移動(dòng)來(lái)獲取待測(cè)物體的變化。
二、信號(hào)處理方法
1.信號(hào)采集：使用光電傳感器將干涉條紋轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，然后通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換器將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。
2.信號(hào)處理：對(duì)采集到的數(shù)字信號(hào)進(jìn)行濾波、放大等處理，以消除噪聲和提高信噪比。
3.信號(hào)分析：通過(guò)計(jì)算干涉條紋的移動(dòng)量、頻率等參數(shù)，得到待測(cè)物體的變化信息。
三、數(shù)據(jù)分析方法
1.數(shù)據(jù)預(yù)處理：對(duì)采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行清洗、去噪等預(yù)處理操作，以提高數(shù)據(jù)質(zhì)量。
2.特征提取：從預(yù)處理后的數(shù)據(jù)中提取出與待測(cè)物體變化相關(guān)的特征。
3.數(shù)據(jù)分析：利用統(tǒng)計(jì)學(xué)、模式識(shí)別等方法對(duì)提取的特征進(jìn)行分析，以得出待測(cè)物體的變化規(guī)律和趨勢(shì)。
Renishaw雷尼紹無(wú)內(nèi)置光學(xué)鏡干涉儀作為一種新型的光學(xué)干涉儀，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、易于實(shí)現(xiàn)小型化等優(yōu)點(diǎn)。它的信號(hào)處理和數(shù)據(jù)分析方法對(duì)于獲取待測(cè)物體的微小變化具有重要意義。
